mart FOUPs و-پایش زمان واقعی
"Front Opening Unified Pod" (FOUP) دیگر یک ظرف غیرفعال نیست. نسخه های مدرن اکنون هستنددستگاههای لبهای{0}}فعالشده IoT.
یکپارچه سازی سنسور:FOUPهای جدید دارای حسگرهایی هستند که-در آنها نظارت میشودرطوبت (RH), سطوح اکسیژن، وارتعاشدر زمان واقعی- این برای فرآیندهای 3 نانومتری و 2 نانومتری که در آن حتی یک نوک کوچک در رطوبت می تواند باعث اکسیداسیون ویفر شود، بسیار مهم است.
RFID و دوقلوهای دیجیتال:اکنون هر جعبه دارای یک شناسه دیجیتال منحصر به فرد است که با سیستم اجرایی ساخت کارخانه (MES) ادغام می شود. این امکان را برای "بررسی سلامت" خودکار، ردیابی تعداد دفعات استفاده از یک جعبه و زمان نیاز به تمیز کردن عمیق فراهم می کند.
پاکسازی پیشرفته و کنترل محیطی
با کوچک شدن ترانزیستورها، "ذرات کشنده" و آلاینده های مولکولی (AMC) کشنده تر می شوند.
پاکسازی شدید:آخرین FOUP های 300 میلی متری استفاده می شودپاکسازی چند-نازلی N2 (نیتروژن) یا هوای خشک بسیار تمیز (XCDA). این یک محیط بسیار{1}}اکسیژن پایین را حفظ می کند (< 1%) to prevent the aging of copper and other sensitive materials.
محافظ فعال:برخی از جعبههای{0}بالا حمل و نقل (FOSB) اکنون از محافظ فعال برای خنثی کردن میدانهای الکترواستاتیک در حین حمل و نقل هوایی استفاده میکنند، جایی که رطوبت کم معمولاً خطرات ESD را افزایش میدهد.
حامل های تخصصی ویفرهای "دشوار".
ظهور ازچیپلت هاوادغام ناهمگنشکل فیزیکی چیزی که باید حمل شود را تغییر داده است.
پشتیبانی از ویفر نازک و تار:بستهبندی پیشرفته اغلب شامل ویفرهایی است که تا کمتر از 100 میکرومتر نازک شدهاند یا ویفرهایی که به دلیل تنش حرارتی "خمیده" میشوند. حامل های جدید استفاده می کنندپشتیبانی های سازگارو هندسه های بست تخصصی برای نگه داشتن این ویفرهای شکننده بدون شکستن آنها.
فوکوس SiC 8 اینچی (200 میلی متر):در حالی که 300 میلی متر بر منطق غالب است،کاربید سیلیکون (SiC)صنعت در حال حاضر از ویفرهای 6 اینچی به 8 اینچی برای خودروهای برقی در حال گذار است. این جرقه یک "موج دوم" نوآوری در FOSB های 200 میلی متری است که به طور خاص برای زیرلایه های SiC سنگین تر و شکننده تر طراحی شده اند.
علم مواد و حفاظت از ESD
مواد در حال تغییر از پلی کربنات استاندارد به پلیمرهای-با عملکرد بالا هستند.
پلیمرهای PEEK و کربن{0}پر شده:تولیدکنندگان برای به حداقل رساندن «گازهای خارج شده» (جایی که خود پلاستیک مواد شیمیایی را آزاد می کند که ویفرها را خراب می کند)، از محصولات پیشرفته استفاده می کنند.PEEKیاUHMWPE.
بهبود استاتیک اتلاف کننده (ESD):پلاستیکهای جدید پرشده با{0}}نانولوله{1} کربن، مقاومت سطحی یکنواختتری را ارائه میکنند و تضمین میکنند که بارهای ساکن به طور ایمن بدون خطرات «جرقه» پوششهای آنتیاستاتیک قدیمیتر از بین میروند.