محصولات نگهداری ویفر

ظهور "Smart FOUP"

جلو-پادهای یکپارچه باز کردن (FOUP) ظروف تخصصی هستند که 25 ویفر را در حین حرکت در یک فاب نگه می‌دارند. در سال 2026، آنها به عنوان دوباره تصور می شونداتاق های تمیز سیار.

مشکل 100 روزه:از آنجایی که تراشه های پیشرفته مانند HBM و منطق 3 نانومتری به صدها مرحله فرآیند نیاز دارند، ویفرها اکنون برای بیش از حد در داخل فاب باقی می مانند.100 روز. آنها تقریباً 70٪ از آن زمان را در یک FOUP می گذرانند.

استاندارد پاکسازی N2:برای جلوگیری از اکسیداسیون و آلودگی در این مدت طولانی، تولید کنندگان پیشرو (مانندEntegrisوجاستم) شاهد افزایش 300 درصدی سفارشات هستیمFOUPهای پاکسازی نیتروژن (N2).. این سیستم ها برای محافظت از سطح ویفر، نیتروژن را برای کاهش رطوبت از 45٪ به زیر 5٪ تزریق می کنند.

تشخیص تعبیه شده:«FOUPهای هوشمند» جدید اکنون شامل حسگرهای کوچکی می‌شود که{0}}دله‌متری زمان واقعی را در مورد لرزش، رطوبت و دما ارائه می‌کنند و در صورت نیاز به تعمیر و نگهداری قبل از خراب کردن ویفرهای 750000 دلاری، به کارخانه هشدار می‌دهند.